TF 系列產品是一款適合實驗室研發(fā)或成品檢測使用的在線薄膜面電阻（方塊電阻）及薄膜厚度測量的儀器。

技術特點

非接觸與實時測量
精確測量
高度可變性和靈活性
在真空內-和真空外的解決方案
固定傳感器和穿越式解決方案
單線和多線解決方案
高達每秒1000次的高采樣率

參數(shù)

面電阻（方塊電阻）（歐姆/平方）
金屬層厚度（nm、μm）
金屬基板厚度（μm）
各向異性
缺陷
完整性評定

應用

建筑玻璃（LowE）
觸摸屏和平板顯示器
OLED和LED應用
智能玻璃的應用
透明防靜電鋁箔
光伏
半導體
除冰和加熱應用
電池和燃料電池
包裝材料

材料

金屬薄膜和柵格
導電氧化物
納米線膜
石墨烯、CNT（碳納米管）、石墨
打印薄膜
導電聚合物（PEDOT:PSS）
其他導電薄膜及材料

規(guī)格參數(shù)

面電阻（方塊電阻）測量技術	非接觸式渦流傳感器
基板	例如：箔片、玻璃、晶圓，等等
測量間隙尺寸	5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
傳感器對數(shù) / 監(jiān)控線數(shù)	1 - 99
傳感器尺寸 (W x L x H)	M 型傳感器：80 x 100 x 66 mm S 型傳感器：34 x 48 x 117 mm
導電層	金屬/ TCOs/ CNTs/ 納米線/ 石墨烯/ 柵格/ PEDOT/其它
薄膜面阻的范圍	低　　　0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精確度 標準　　1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精確度 高　　　10 - 10,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精確度
金屬膜的厚度測量（例如：鋁、銀、鉬、銀漿）	2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致)
其它集成的測量	金屬厚度/光透明性/密度/電性各向異性
環(huán)境	在真空外/在真空內 @ T < 60°C / 140°F (根據(jù)要求 <90°C / 194°F)
采樣率	1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次測量每秒
硬件觸發(fā)	5, 12, 24 V
界面	UDP、.Net libraries、TCP、Modbus、模擬/數(shù)字