產(chǎn)品簡(jiǎn)介
D9650和上一代產(chǎn)品一樣提供了良好的精度和穩(wěn)健性，增加了一個(gè)合并了PolyGate™技術(shù)和Sonolytics™的改進(jìn)型的電子與軟件平臺(tái)。D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是理想的用于失效分析、工藝開發(fā)、材料特性和小批量生產(chǎn)的工具。

產(chǎn)品原理
利用不同材料對(duì)超聲波聲阻抗不同，對(duì)聲波的吸收和反射程度不同，來探測(cè)半導(dǎo)體、元器件的結(jié)構(gòu)、缺陷、對(duì)材料做定性分析。

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
* 帶有Multi-Gate™ 及Probing-Gate™ 功能的PolyGate™ 技術(shù)可以進(jìn)行單一及多層自動(dòng)聚焦成像
* 每頻道多達(dá)100個(gè)Gates
* Windows 10® Sonolytics 2™ 界面，64字節(jié)處理能力
* 線性馬達(dá)掃描儀可掃描JEDEC托盤
* 帶有塔式安裝掃描參考平臺(tái)及樣品定位架，更加精準(zhǔn)
* 方便使用掃描區(qū)域使安裝、拆卸更加方便，可以掃描JEDEC托盤或300mm晶圓片
* 定量的B-Scan是Sonoscan獨(dú)有的分析模式(Q-BAM)
* B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖，并帶有準(zhǔn)確的極性、幅值和深度數(shù)據(jù)

D9650 C-Mode 掃描聲學(xué)顯微鏡是新一代聲學(xué)顯微圖像（AMI）技術(shù)革新的一部分。無論你需要用于失效分析、工藝開發(fā)、材料特性和小批量生產(chǎn)或其它的試驗(yàn)室檢查，D9650都會(huì)提供這些服務(wù)能力。

先進(jìn)的Sonoscan 功能增加了價(jià)值和信心，比如Visual PolyGate™、移動(dòng)地圖、像素間距等等。具有的大尺寸、容易進(jìn)入的且有燈光照明的掃描區(qū)域，以及它掃描塔的參考掃描和固定裝置使得D9650有能力來快速的掃描各種樣品，包括從單個(gè)器件到兩個(gè)JEDEC托盤的器件。

除了充滿Sonoscan創(chuàng)新外，D9650還是為用戶用心設(shè)計(jì)的。它的人體工程學(xué)特點(diǎn)使得使用比較舒適和方便。它的先進(jìn)應(yīng)用軟件Sonolytics™和新的直觀的操作界面菜單有助于使結(jié)果良好展現(xiàn)，并同時(shí)節(jié)省了操作員的時(shí)間。D9650是新一代的C-SAM設(shè)備，提供了一整套的技術(shù)、人體工程學(xué)等。

廠務(wù)需求
通用電壓 - 90V到250V AC，單相，50/60 Hz，15安培（120V）
外形–直式桌子：長(zhǎng)寬高 1.89 x 0.74 x 1.58 m （74.5 x 29.0x 61.9 英寸）